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东莞电子真空泵技术参数及应用探析

来源:www.hlz6.com 时间:2024-03-13 19:09:26 作者:东莞发布信息网 浏览: [手机版]

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东莞电子真空泵技术参数及应用探析(1)

随着现代工业的不断发展,真空技术的应用越来越广泛,而电子真空泵作为一种高、可靠的真空泵,其在各个领域的应用也越来越广泛东~莞~发~布~信~息~网。本文将介绍东莞电子真空泵的技术参数及其应用探析。

一、技术参数

  1. 抽气度:电子真空泵的抽气度是指在一定的压力范围,单抽出的气体体积。东莞电子真空泵的抽气度一般在10L/s ~ 3000L/s来自www.hlz6.com

2. 极限压力:电子真空泵的极限压力是指在泵没有气体流动,泵能的最低压力。东莞电子真空泵的极限压力一般在10^-7 Pa ~ 10^-9 Pa间。

3. 泵:电子真空泵的泵是指泵流过的气体体积东 莞 发 布 信 息 网。东莞电子真空泵的泵一般在10^3 L/s ~ 10^4 L/s间。

  4. 功率:电子真空泵的功率是指泵的电源功率。东莞电子真空泵的功率一般在1kW ~ 10kWhlz6.com

二、应用探析

东莞电子真空泵技术参数及应用探析(1)

1. 半导体工业:电子真空泵在半导体工业中的应用非常广泛,主要用于真空蒸、离子注入、等离子体刻蚀等工艺。

  2. 太能工业:电子真空泵在太能工业中的应用也非常广泛,主要用于太能电池片的制造过程中的真空蒸、离子注入等工艺。

3. 光学工业:电子真空泵在光学工业中的应用主要是用于真空膜、真空干燥等工艺UNJv

  4. 航空航天工业:电子真空泵在航空航天工业中的应用主要是用于太空模拟器、真空测试仪等设备中。

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